一种硅片传输机构

授权

摘要

本实用新型公开了一种硅片传输机构，包括放置臂、过渡臂、行走机构和传输带，所述放置臂和所述过渡臂均用于放置硅片；所述行走机构包括行走臂和驱动所述行走臂的多轴模组，所述行走臂包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部分别位于所述行走臂的两端部；所述过渡臂、所述放置臂和所述传输带依次等距设置，且与所述第一支撑部和所述第二支撑部间的距离相等；当所述第一支撑部插设进所述放置臂内时，所述第二支撑部插设进所述过渡臂内，以将所述放置臂和所述过渡臂上的所述硅片依次传输至所述过渡臂和所述传输带上。本实用新型能够提高硅片传输的效率。

基本信息

专利标题：

一种硅片传输机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921217272.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-30

授权号：

CN210635196U

授权日：

2020-05-29

发明人：

张学强戴军张建伟罗银兵刘三利祝志强

申请人：

罗博特科智能科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

查杰

优先权：

CN201921217272.1

主分类号：

B65G15/20

IPC分类号：

B65G15/20 B65G15/58 B65G47/91