一种横向硅片传输机构及硅片传输设备

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摘要

本实用新型提供了一种横向硅片传输机构及硅片传输设备，所述的横向硅片传输机构包括横向传输组件、用于驱动所述的横向传输组件升降的升降组件，所述的横向传输组件包括两个相互平行设置的横向传输导轨，所述的横向传输导轨包括传送轮安装框架、横向传送带，所述的传送轮安装框架包括上下平行设置的上安装架和下安装架，所述的上安装架的两端设置有上传送轮，所述的下安装架的两端设置的下传送轮，所述的横向传送带绕过所述的上传送轮和下传送轮。

基本信息

专利标题：

一种横向硅片传输机构及硅片传输设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021597812.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-04

授权号：

CN212967640U

授权日：

2021-04-13

发明人：

吴廷斌张学强张建伟罗银兵朱方松

申请人：

罗博特科智能科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

王佳丽

优先权：

CN202021597812.6

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677 H01L31/18