一种硅片上下料传输系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片上下料传输系统，属于太阳能电池技术领域。本实用新型的上下料传输系统，包括硅片定位机构、硅片载具、硅片变距搬运机构和皮带传输机构，硅片变距搬运机构用于将硅片从硅片定位机构搬运至硅片载具上或者将硅片从硅片载具上搬运至皮带传输机构，且硅片变距搬运机构用于对硅片进行变距调节，以使硅片能够分别与硅片定位机构以及硅片载具上的硅片口袋相匹配。本实用新型的硅片变距搬运机构可以对硅片进行变距调节以适应硅片定位机构以及硅片载具上的硅片口袋，大大提高了传输效率，实现硅片上下料的准确对接。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片上下料传输系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020297454.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-11
授权号 ：
CN211743111U
授权日 ：
2020-10-23
发明人 ：
董平博连建军李新丰王彦齐
申请人 ：
苏州迈为科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江经济开发区庞金路1801号庞金工业坊D02幢
代理机构 ：
江苏瑞途律师事务所
代理人 ：
王珒
优先权 ：
CN202020297454.0
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/683
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-10-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN211743111U.PDF
PDF下载
