一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构
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摘要
本实用新型提供了一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构，涉及粉体表面包覆技术领域。腔壁结构用以收纳能够盛放粉体的内桶，且连通于供气装置和抽气装置，还连接于用以驱动内桶转动的驱动装置，其包含：具有用以收纳内桶的腔体的内壁；配置于内壁外侧且用以包裹内壁的外壁；配置于内壁用以加热腔体内的物质的加热件；配置于内壁用以连通腔体和供气装置的进气管路；配置于内壁用以连通腔体和抽气装置的抽气管路。供气装置输出的反应气体能够通过进气管路，并进入腔体中，在粉体表面发生反应，抽气装置能够通过抽气管路，将反应气体从腔体中抽出，并使腔体内形成真空。
基本信息
专利标题 ：
一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020517437.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-08
授权号 ：
CN212102999U
授权日 ：
2020-12-08
发明人 ：
王桐赵茂生王韫宇
申请人 ：
厦门韫茂科技有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市软件园三期集美大道1300号创新大厦6楼之四十一
代理机构 ：
厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈槐萱
优先权 ：
CN202020517437.3
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2020-12-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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