一种晶圆涂胶机
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆涂胶机，包括滴胶喷嘴，滴胶喷嘴的下方设置有外罩，外罩的内侧底部设置有升降器，升降器的顶端设置有驱动环，驱动环的顶端设置有与其相配合的内罩，内罩的内部且位于滴胶喷嘴的下方设置有晶圆，晶圆的底端设置有底座，底座与内罩从左至右依次设置有干燥喷嘴与清洗喷嘴，干燥喷嘴远离内罩的一侧与清洗喷嘴远离内罩的一侧分别均设置有活动机构；其中，活动机构包括与干燥喷嘴连接的支撑柱，支撑柱的底端设置有支撑座，支撑柱的顶部套设有圆柱齿轮，支撑柱的两侧且位于圆柱齿轮的下方设置有角度传感器。有益效果：通过设置本实用新型，进而提高清洗与干燥的效率。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆涂胶机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020531153.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-11
授权号 ：
CN212596775U
授权日 ：
2021-02-26
发明人 ：
黄雷谷建华
申请人 ：
昆山成功环保科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山开发区澄湖路248号1号厂房
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020531153.X
主分类号 ：
B05C5/02
IPC分类号 ：
B05C5/02 B05B15/55 B08B5/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2021-02-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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