一种立式上料插片一体机
授权
摘要
本实用新型提供了一种立式上料插片一体机,包括架体及设置在架体上的硅片传送设备;所述架体的一端设有用于承载转运硅片的承运水箱;所述架体上还设有用于将承运水箱内硅片输送至硅片传送带的上料单元;所述硅片传送设备远离上料单元的一端设有用于将硅片插入片篮的插片单元,插片单元的另一端设有片篮整列机构;所述架体上还对应设有用于将成组片篮转移至清洗工序的清洗机械手。本实用新型所述的一种立式上料插片一体机,为立式分片方式,有效降低碎片率;弹夹上料机、立式插片机、花篮上料机,三机合一,有效减少控制成本及材料成本,缩减占地面积。
基本信息
专利标题 :
一种立式上料插片一体机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020578013.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-17
授权号 :
CN212257432U
授权日 :
2020-12-29
发明人 :
靳立辉杨骅耿名强赵晓光杜晨朋尹擎
申请人 :
天津环博科技有限责任公司
申请人地址 :
天津市滨海新区高新区华苑产业区华科大街1号
代理机构 :
天津企兴智财知识产权代理有限公司
代理人 :
苏冲
优先权 :
CN202020578013.8
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18 H01L21/677 B08B13/00 B07C5/34 B07C5/02 B07C5/36
法律状态
2020-12-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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