本实用新型公开了一种全氟烷基烷氧基硅烷的制备装置，其包括锁扣、配电箱门、配电箱体、全氟烷基烷氧基硅烷气体管、操作机构、压力表、搅拌杆、加压块、散热板、反应箱、输气管、滑板、滑块、支架、泵、轨道、底座、加压管、加料口，锁扣位于配电箱门的一端，配电箱门位于配电箱体的一端，配电箱体位于操作机构的一端，操作机构位于全氟烷基烷氧基硅烷气体管的一侧，全氟烷基烷氧基硅烷气体管位于反应箱的一端，反应箱与输气管连接且位于泵的一侧，泵位于支架的顶端，支架位于滑板的上方等。本实用新型全氟烷基烷氧基硅烷的制备装置能够提高全氟烷基烷氧基硅烷的产出效率，提高其质量和纯度，具有极高的安全性保障。