膜厚的检测装置

授权

摘要

本申请提供了一种膜厚的检测装置，该装置包括：共通电极单元，包括共通电极；检出电极单元，与共通电极单元在第一方向相对且间隔设置，检出电极单元包括检出电极、检出电极盖板、第二框体、中间层及导电层，中间层位于检出电极盖板的表面上，导电层位于中间层远离检出电极盖板的表面上，中间层的表面粗糙度小于检出电极盖板的表面粗糙度，第二框体具有第二开口，检出电极盖板盖设在第二框体的第二开口上，第二框体与检出电极盖板形成第二容纳空间，检出电极位于第二容纳空间内，检出电极盖板的介电常数大于3.9，第一方向与检出电极盖板的厚度方向平行，共通电极单元与检出电极单元之间形成检测通道，该方案提高了膜厚检测装置的感度。

基本信息

专利标题：

膜厚的检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020599445.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-20

授权号：

CN211696231U

授权日：

2020-10-16

发明人：

戚务昌宋荣鑫张凯林永辉

申请人：

威海华菱光电股份有限公司

申请人地址：

山东省威海市火炬高技术产业开发区科技路179号

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

霍文娟

优先权：

CN202020599445.7

主分类号：

G01B7/06

IPC分类号：

G01B7/06