膜厚的检测装置

授权

摘要

本申请提供了一种膜厚的检测装置，该装置包括：检出结构，包括检出电极；共通电极，与检出电极在第一方向上相对且间隔设置，检出结构和共通电极之间的间距为预定间距；介质部，位于检出电极和共通电极之间，且介质部位于检出结构的表面上和/或位于共通电极的表面上，介质部的厚度小于预定间距，介质部用于增加检出电极和共通电极之间的介电常数。通过在检出电极和共通电极之间设置介质部，由于介质部增加了检出电极与共通电极之间的介电常数，即改善了检出电极与共通电极之间的导电特性，使得该检测装置具有较高的检测灵敏度与精度。

基本信息

专利标题：

膜厚的检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020599477.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-20

授权号：

CN211696232U

授权日：

2020-10-16

发明人：

戚务昌宋荣鑫张凯曲涛林永辉姜利

申请人：

威海华菱光电股份有限公司

申请人地址：

山东省威海市火炬高技术产业开发区科技路179号

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

霍文娟

优先权：

CN202020599477.7

主分类号：

G01B7/06

IPC分类号：

G01B7/06