柔性导电卷材的生产加工系统
授权
摘要
本实用新型公开了柔性导电卷材的生产加工系统，涉及基材镀膜领域；该生产加工系统包括第一真空镀膜装置，用于在薄膜基材表面形成磁控溅射镀膜；第二真空镀膜装置，位于第一真空镀膜装置后方，用于在磁控溅射镀膜上形成第一金属镀层；第一水镀装置，位于第二真空镀膜装置后方，采用碱性水镀设备，在第一金属镀层上形成过渡金属镀层；第二水镀装置，位于第三真空镀膜装置后方，采用酸性水镀设备，在第一金属镀层上形成增厚金属镀层；本实用新型的有益效果是：能够避免蒸镀工艺的高温因素对膜面串泡和孔洞的影响，可以有效的解决串泡问题，同时解决原蒸镀工艺的高温金属微粒将基膜击穿的孔洞问题。
基本信息
专利标题 ：
柔性导电卷材的生产加工系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020715734.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-30
授权号 ：
CN212451618U
授权日 ：
2021-02-02
发明人 ：
魏鼎
申请人 ：
深圳市元子科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市光明新区新湖街道圳美社区光明同富裕工业园8号101
代理机构 ：
深圳市深可信专利代理有限公司
代理人 ：
刘昌刚
优先权 ：
CN202020715734.9
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/35 C23C14/20 C23C14/16 C25D3/38 C25D7/06 C23C28/02 C25D17/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2021-02-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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