本申请涉及一种基于MEMS工艺的旋转镜、MEMS振镜及激光雷达，其中旋转镜，包括：硅基板，所述硅基板包括一体形成的支撑部和旋转部；所述支撑部为中空结构；所述旋转部位于所述支撑部的中空区域内；所述旋转部包括反射镜本体和用于将所述反射镜本体固定于所述支撑部的扭力梁对；以及反射层，形成于所述反射镜本体的第一面。上述基于MEMS工艺的振镜的旋转镜，在形成旋转部的同时能够一体形成用于固定旋转部的支撑部，从而利用支撑部来实现旋转镜与MEMS振镜的其他主体结构之间的固定，能够增加固定的稳定性，并降低由于固定过程对旋转镜所带来的磨损，能够有效提高旋转镜的使用寿命，进而提高使用了该结构的激光雷达的寿命。