一种研磨液喷雾清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种研磨液喷雾清洗装置，该装置包括研磨液柜体；研磨液进液控制阀组件，所述的研磨液进液控制阀组件进口输入研磨液，出口连接于研磨液柜体的接口；超纯水进液控制阀组件，所述的超纯水进液控制阀组件进口输入超纯水，其出口连接于研磨液柜体的接口；喷雾清洗部件，所述的喷雾清洗部件包括：喷雾头、高纯氮气控制阀和第一超纯水控制阀，所述的喷雾头设置于研磨液柜体顶部内侧，所述的高纯氮气控制阀和第一超纯水控制阀并联后连接于喷雾头；出液控制阀，其进口连接研磨液柜体的出口。本实用新型能够减小研磨液柜体清洗时间，并提高清洁效果，并可以节约超纯水的使用量，有利于节省运营成本。
基本信息
专利标题 ：
一种研磨液喷雾清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020745880.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-08
授权号 ：
CN212168324U
授权日 ：
2020-12-18
发明人 ：
李文涛顾向前龚春东
申请人 ：
理纯（上海）洁净技术有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区南汇新城镇海基六路218弄1号楼201室
代理机构 ：
上海元好知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐雯琼
优先权 ：
CN202020745880.6
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B5/02 B08B9/093
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2020-12-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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