本实用新型公开了一种用于化学机械研磨装置的研磨台间清洗装置，包括底座、设置于底座上表面的凹槽，设置于凹槽内的第一喷嘴，设置于底座两端的第二喷嘴，以及第二喷嘴的供水液路，底座一端固定于化学机械研磨装置的十字金属轴，其中：凹槽靠近十字金属轴的一端延伸至底座的外壁，此端设置有第三喷嘴；凹槽远离十字金属轴的一端的侧壁上设置有第四喷嘴；底座内部设有第三喷嘴的供水液路和第四喷嘴的供水液路。本实用新型可以对研磨台间清洗装置的凹槽及凹槽内的喷嘴，以及化学机械研磨装置的十字金属轴进行在线清洗，提高了化学机械研磨装置的自清洁能力，可降低颗粒超标和制品划伤的可能性，提高制品的成品率。