一种用于化学机械研磨设备的研磨头

实质审查的生效

摘要

本发明涉及一种用于化学机械研磨设备的研磨头，其通过在挡圈外围设置整理环和位于所述整理环上方的环形气囊，使研磨头兼具研磨功能和整理功能，简化了结构设计。另外，由于本发明将整理环集成在研磨头上，因此，相比现有技术，本发明解决了整理器与研磨头容易相撞的问题。此外，本发明的整理环的下表面积比现有的整理器的下表面积更大，因此，提高了对研磨垫的整理效率。

基本信息

专利标题：

一种用于化学机械研磨设备的研磨头

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN114310657A

申请号：

CN202111406652.1

公开（公告）日：

2022-04-12

申请日：

2021-11-24

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

左少杰李春龙刘小俊卓鸿俊

申请人：

北京子牛亦东科技有限公司

申请人地址：

北京市大兴区经济技术开发区科谷一街10号院6号楼3层305-11(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司

代理人：

张晓玲

优先权：

CN202111406652.1

主分类号：

B24B37/27

IPC分类号：

B24B37/27 B24B37/34 B24B53/017

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B24

磨削；抛光

B24B

用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给

B24B37/00

研磨机床或装置；附件

B24B37/27

工件载体

法律状态

2022-04-29 ：

实质审查的生效

IPC(主分类) : B24B 37/27
申请日 : 20211124

2022-04-12 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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