一种用于化学机械研磨设备的研磨头的隔膜
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种用于化学机械研磨设备的研磨头的隔膜，该隔膜通过增大圆形膜片的直径并相应增大隔膜第一区的宽度，使第一区可直接接触晶圆并作用于晶圆边缘部分，同时利用第一卡环底部的凸起结构将晶圆固定，从而实现晶圆边缘厚度的精确控制，实现晶圆表面的平坦化。
基本信息
专利标题 ：
一种用于化学机械研磨设备的研磨头的隔膜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114473853A
申请号 ：
CN202111576265.2
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-12-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
左少杰李春龙刘小俊卓鸿俊
申请人 ：
北京子牛亦东科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区科谷一街10号院6号楼3层305-11(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
代理机构 ：
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 ：
张晓玲
优先权 ：
CN202111576265.2
主分类号 ：
B24B37/11
IPC分类号 ：
B24B37/11
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/11
研具
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/11
申请日 : 20211221
申请日 : 20211221
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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