全自动薄膜制备装置
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种全自动薄膜制备装置，包括箱体，箱体表面设有电子显示屏、电源线以及多个旋钮组成的用于控制实验条件的多功能控制面板，箱体内设有滴胶组件、旋涂组件、加热组件和转移组件。本实用新型通过自动滴加溶液、自动旋涂、自动转移衬底、自动加热烘烤处理、自动多次重复旋涂热处理过程等程序化工作，实现了薄膜从溶液到成膜一体化制备工艺；该装置大大减少了人工成本，节约了时间，同时更能够精确的控制剂量和加热时间、涂膜时间等，减少了人为误差，提升涂膜可重复性；该装置可自动化运行，节约投入成本，更适用于经验不足的初学者，具有很大工业上批量推广的潜力。
基本信息
专利标题 ：
全自动薄膜制备装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020756823.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-09
授权号 ：
CN212077148U
授权日 ：
2020-12-04
发明人 ：
黄方李渊张林孙书杰殷小丰肖振宇
申请人 ：
信阳师范学院
申请人地址 ：
河南省信阳市浉河区南湖路237
代理机构 ：
苏州九方专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张文婷
优先权 ：
CN202020756823.8
主分类号 ：
C23C18/12
IPC分类号 ：
C23C18/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18/00
通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆；接触镀
C23C18/02
热分解法
C23C18/12
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
法律状态
2022-04-15 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C23C 18/12
申请日 : 20200509
授权公告日 : 20201204
终止日期 : 20210509
申请日 : 20200509
授权公告日 : 20201204
终止日期 : 20210509
2020-12-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
