一种抛光机所用的新型抛光头及其治具
授权
摘要
本实用新型提供了一种抛光机所用的新型抛光头及其治具，抛光头包括抛光头本体，所述抛光头本体底部装有压力分配环，所述抛光头侧壁上安装有拆卸压力分配环的拆卸件。治具包括治具本体，所述治具本体用于安装压力分配环的治具。本实用新型所述的抛光头本体侧面安装有拆卸压力分配环的四氟螺纹顶杆，四氟螺纹顶杆与抛光头本体螺纹连接，通过旋转四氟螺纹顶杆将压力分配环进行拆卸，实现了压力分配环的快速拆卸；通过治具实现了压力分配环的快速安装。
基本信息
专利标题 ：
一种抛光机所用的新型抛光头及其治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020807518.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-14
授权号 ：
CN212683566U
授权日 ：
2021-03-12
发明人 ：
张晋英安爱博张碧波严政先赵欣郭旭霍立强孙晨光王彦君
申请人 ：
中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道
代理机构 ：
天津滨海科纬知识产权代理有限公司
代理人 ：
薛萌萌
优先权 ：
CN202020807518.7
主分类号 ：
B24B41/04
IPC分类号 ：
B24B41/04 B24B29/00 B25B11/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件，比如机架，床身，滑板，床头箱的
B24B41/04
床头箱；工作主轴；其有关特征
法律状态
2021-03-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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