提拉涂膜夹具及提拉涂膜设备

授权

摘要

本申请提供了提拉涂膜夹具及提拉涂膜设备，涉及化学膜制备技术领域。一种提拉涂膜夹具，包括主体、密封圈和两个压杆。主体具有凹槽和围设于凹槽四周的平台，平台用于放置待涂膜元件。密封圈围设于凹槽的四周且与平台密封连接。两个压杆能够分别与凹槽两侧的平台可拆卸连接，以将放置于平台上的待涂膜元件紧贴与密封圈。该提拉涂膜夹具对元件采用两侧夹持，不在元件顶部和底部有任何高出元件表面的夹持，避免影响元件表面膜层的均匀性。采用凹槽和密封圈的配合，实现大口径高径厚比元件的单面密封，能够实现对大口径高径厚比元件的两个不同表面制备不同的化学膜。

基本信息

专利标题：

提拉涂膜夹具及提拉涂膜设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020823929.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-18

授权号：

CN212441892U

授权日：

2021-02-02

发明人：

惠浩浩雷向阳杨伟邓雪然王天宇袁志刚张帅马红菊张剑锋苏文虎高睿张利平朱玉洁张清华

申请人：

中国工程物理研究院激光聚变研究中心

申请人地址：

四川省成都市武侯区科园一路3号

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

付兴奇

优先权：

CN202020823929.5

主分类号：

B05C13/02

IPC分类号：

B05C13/02 B05C3/10 B05D1/18