一种供应化学品定容器的配比装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种供应化学品定容器的配比装置，该装置主要包括骨架、操控面板、化学研磨液混合供应装置、化学品定容器、压力监测表、液位传感器、排气装置及相关控制阀。操控面板用于控制整个设备系统自动化运作；化学研磨液混合供应装置是用于生产中研磨液配比及供应储存使用；化学品定容器的材质为聚四氟乙烯(PFA)具有耐腐蚀、耐压的特性，主要用于化学品中转储存和定容定量，然后再经氮气驱动化学品供应到化学研磨液混合供应装置中混合配比；压力监测表用于氮气输入和化学品定容器的压力监测，本实用新型解决了化学研磨液的调配过程中化学品注入容量不精确，流速不稳定的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种供应化学品定容器的配比装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020891776.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-25
授权号 ：
CN212963542U
授权日 ：
2021-04-13
发明人 ：
罗保兴杨凯
申请人 ：
上海吉啸电子科技有限公司
申请人地址 ：
上海市奉贤区六团公路310号1幢102室
代理机构 ：
北京久维律师事务所
代理人 ：
邢江峰
优先权 ：
CN202020891776.8
主分类号 ：
G01F22/00
IPC分类号 ：
G01F22/00 B01F15/04 B01F13/10 B01F15/00 G01F23/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量
G01F22/00
未列入其他类目的用于测量流体或流动固体材料的体积的方法或设备
法律状态
2021-04-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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