一种化学品供应装置及其报警方法
实质审查的生效
摘要

本发明实施例公开了一种化学品供应装置,包括处理罐,处理罐连接有进气管,处理罐还通过进气管连通有气体,进气管上安装有泄压阀,泄压阀还连接排气管,排气管上安装有转接口,转接口上固接压力计,压力计信号连接有通讯板;本发明实施例还公开了一种化学品供应装置地报警方法,气体经过泄压阀进入转接口,触动压力计压力升高继而触发通讯板进行报警。本发明的一种化学品供应装置及其报警方法,能通过压力计侦测到泄压阀开启或异常开启,随后进行报警,避免气体大量、长时间的泄漏。

基本信息
专利标题 :
一种化学品供应装置及其报警方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114352949A
申请号 :
CN202111444471.8
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-11-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
蔡立国赵兴
申请人 :
上海华力集成电路制造有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
代理机构 :
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 :
戴广志
优先权 :
CN202111444471.8
主分类号 :
F17D5/06
IPC分类号 :
F17D5/06  F17D5/00  F17D3/01  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统;管路
F17D
管道系统;管路
F17D5/00
保护装置或观测装置
F17D5/02
漏失的预防、检查和确定位置
F17D5/06
用电或声学的方法
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F17D 5/06
申请日 : 20211130
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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