超高真空束源炉坩埚除气装置
授权
摘要
本专利公开了一种超高真空束源炉坩埚除气装置，该装置包括：在真空腔室上通过第一刀口法兰与真空规管上的第五刀口法兰连接，通过第二刀口法兰与闸板阀上的第六刀口法兰连接，通过第三和第四刀口法兰分别安装2台束源炉上的第九刀口法兰连接。在闸板阀上通过第七刀口法兰与真空泵上的第八刀口法兰连接。该装置结构简单，在暴露大气后能快速恢复到超高真空度，束源炉装卸简单，极大地提高了束源炉坩埚除气的工作效率。
基本信息
专利标题 ：
超高真空束源炉坩埚除气装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020892165.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-25
授权号 ：
CN212533100U
授权日 ：
2021-02-12
发明人 ：
陈建新金博睿徐志成
申请人 ：
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址 ：
上海市虹口区玉田路500号
代理机构 ：
上海沪慧律师事务所
代理人 ：
郭英
优先权 ：
CN202020892165.5
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/26 F04B37/14
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-02-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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