一种旋转动力传输装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型涉及机械装置技术领域,公开了一种旋转动力传输装置,包括传动轴套,所述传动轴套为筒状,所述传动轴套的内部设有传动轴,所述传动轴的一端设有用于固定晶片的甩干头,所述传动轴的另一端连接有驱动装置,所述传动轴套的侧壁设有一连接孔,所述连接孔贯穿所述传动轴套的侧壁且与所述传动轴套的内部供传动轴通过的通孔相连通,所述连接孔通过连接管与抽吸装置相连。采用本实用新型技术方案的旋转动力传输装置,结构简单,能够及时将传动轴与传动轴承运转过程中产生的颗粒及时运送出去,由此避免摩擦产生的颗粒对晶片的清洁造成影响,能够适用于对洁净度有要求的场合。
基本信息
专利标题 :
一种旋转动力传输装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020901253.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-25
授权号 :
CN212620020U
授权日 :
2021-02-26
发明人 :
郭炳熙廖彬严卫东周铁军陈勇张建锋米艳娇
申请人 :
广东先导先进材料股份有限公司
申请人地址 :
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
代理机构 :
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 :
颜希文
优先权 :
CN202020901253.7
主分类号 :
F26B25/02
IPC分类号 :
F26B25/02 H01L21/67 B08B15/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B25/00
不包含F26B 21/00或F26B 23/00组中的一般应用部件
F26B25/02
不包含在其他小类中的传动机构的应用
法律状态
2022-01-04 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : F26B 25/02
登记生效日 : 20211222
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 广东先导先进材料股份有限公司
变更后权利人 : 广东先导微电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
变更后权利人 : 511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
登记生效日 : 20211222
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 广东先导先进材料股份有限公司
变更后权利人 : 广东先导微电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
变更后权利人 : 511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
2021-02-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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