氮化硅反应炉
授权
摘要
本实用新型公开了氮化硅反应炉，包括炉体和监控柜，炉体内部设置温度传感器，炉体外壳上设置水冷机构。监控柜内设置温度信号处理单元和控制器，信号处理单元包括采样信号滤波电路和复合运放抗干扰电路，采样信号滤波电路运用RC降噪原理降低外界高频杂波噪声对检测信号造成的影响，复合运放抗干扰电路进行带通选频滤波，提高温度检测的抗干扰能力，运用差动复合放大器原理对检测信号进行次级放大，从而有效抑制放大过程中温度检测信号漂移产生系统误差；控制器控制供水管道上的电磁阀打开对炉体进行水冷降温，并根据检测值高于预设值的大小来相应控制电磁阀的开度，从而控制水流量大小来实现炉体温度精确调节，控制效果精准可靠。
基本信息
专利标题 ：
氮化硅反应炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020907820.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-26
授权号 ：
CN212778619U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
王南园贾钰浦王泽坤
申请人 ：
河南锐鑫同创高新材料科技有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市上街区金屏路48号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
卓邦荣
优先权 ：
CN202020907820.X
主分类号 ：
F27B17/00
IPC分类号 ：
F27B17/00 F27D7/06 F27D9/00 F27D19/00 C01B21/068
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B17/00
不包含在F27B 1/00至F27B 15/00中任一组的炉
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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