反应炉的清洗装置及反应炉
实质审查的生效
摘要

本公开提供一种反应炉的清洗装置及反应炉,反应炉的清洗装置包括清洗部、支撑部和驱动部;清洗部被设置为与反应炉的内壁接触,支撑部设置于反应炉内,清洗部安装于支撑部;驱动部设置于支撑部的远离清洗部的一侧,并与支撑部的第一端部固定连接;其中,驱动部被设置为驱动支撑部转动,支撑部带动清洗部相对反应炉的内壁运动。本公开中的清洗部与反应炉的内壁接触,并由驱动部驱动,使得清洗部能够相对反应炉的内壁运动,实现了自动清洁的效果,无需人工手动清洁,提升清洁制程中的安全性;且自动清洁,可以掌控清洁力度,提升清洁效果。

基本信息
专利标题 :
反应炉的清洗装置及反应炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114308946A
申请号 :
CN202210013464.0
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2022-01-06
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈涛
申请人 :
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 :
北京名华博信知识产权代理有限公司
代理人 :
朱影
优先权 :
CN202210013464.0
主分类号 :
B08B9/087
IPC分类号 :
B08B9/087  B08B15/04  B08B9/093  B08B3/08  B08B13/00  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/08
清洗容器,如槽的清洗
B08B9/087
包括使用工具,如刷子、刮刀的方法的
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 9/087
申请日 : 20220106
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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