电浆蚀刻反应炉预热装置
专利权的终止
摘要
本实用新型为一种电浆蚀刻反应炉预热装置,在电浆蚀刻反应炉内设置有一层以上金属板及预热装置,在金属板下方设置有加热导管,其中预热装置的加热器内含有供热传导使用的可被加热的热传输流体,由连接于歧管的复数加热导管将热传导液体的热量传导和辐射至金属板,使金属板均匀且快速地加热。所提出的电浆蚀刻的预热装置能使被加热的金属板均匀加热,且易于制造和设置,同时该预热装置的加热导管与金属板结合容易,装卸方便。
基本信息
专利标题 :
电浆蚀刻反应炉预热装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820000357.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-01-07
授权号 :
CN201142780Y
授权日 :
2008-10-29
发明人 :
陈雄泉
申请人 :
亚太电浆有限公司
申请人地址 :
台湾省台北县
代理机构 :
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
代理人 :
孙皓晨
优先权 :
CN200820000357.X
主分类号 :
H05H1/02
IPC分类号 :
H05H1/02 H01L21/00 H05K3/00
法律状态
2018-01-30 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : H05H 1/02
申请日 : 20080107
授权公告日 : 20081029
申请日 : 20080107
授权公告日 : 20081029
2008-10-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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