一种单晶硅片边角磨削用夹紧工装
授权
摘要
一种单晶硅片边角磨削用夹紧工装，其特征在于，包括工装本体、固定槽、吸气孔、真空腔、密封螺母、连接法兰，所述工装本体上设有固定槽，所述固定槽上设有吸气孔，数量为N，N≥2，所述工装本体内设有真空腔，所述真空腔与固定槽上的所有吸气孔均相通，所述工装本体侧面设有连接法兰，所述连接法兰上设有密封螺母，所述真空腔通过连接法兰与外界相通。本实用新型的优点在于，通过真空腔、吸气孔的配合，将待磨削单晶硅片用大气压压紧在固定槽内，单晶硅片受力均匀，不易损坏，且大气压力较大，能达到更为理想的压紧效果。
基本信息
专利标题 ：
一种单晶硅片边角磨削用夹紧工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020910141.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-26
授权号 ：
CN212653177U
授权日 ：
2021-03-05
发明人 ：
王海军薛佳勇薛佳伟
申请人 ：
天津众晶半导体材料有限公司
申请人地址 ：
天津市北辰区天津北辰经济技术开发区双原道7号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020910141.8
主分类号 ：
B24B9/06
IPC分类号 ：
B24B9/06 B24B41/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B9/00
适用于磨削工件边缘或斜面或去毛刺的机床或装置；其附件
B24B9/02
以被磨制品材料性质为特征专门设计的
B24B9/06
非金属无机材料的，如石头，陶瓷制品，瓷器
法律状态
2021-03-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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