一种高精度微型减速器，包括设置在壳体中用于输入的中心齿轮轴、小齿轮以及用于输出的内齿圈，内齿圈为柔性内齿圈，柔性内齿圈为杯型结构，杯底外侧的中心位置设有输出轴；中心齿轮轴的轴杆上通过轴承套装有端盖，端盖固定在壳体的端部；小齿轮分别与中心齿轮轴上的中心齿轮和柔性内齿圈啮合；小齿轮通过轴销定位在端盖上，轴销与端盖固定、与小齿轮间隙配合，小齿轮可在轴销上转动；柔性内齿圈的外壁与壳体的内壁之间留有间距。由于采用了柔性内齿圈，所以当柔性内齿圈与小齿轮啮合间隙为零或者负数时，柔性内齿圈会产生微小的变形，从而保证小齿轮与柔性内齿圈始终为无隙啮合。以此达到在结构直径小于40mm的情况下，回差可≤6＇的要求。