一种用于区熔炉的单晶夹持装置
授权
摘要
本实用新型设计单晶硅加工设备,特别设计一种用于区熔炉的单晶夹持装置。包括夹持器本体;夹持器本体设于夹持器底盘上端面中心,夹持器本体包括圆筒和设于圆筒顶端外的环形结构,夹持器底盘中心对应开有通孔用于晶棒的穿出;夹持器本体的环形结构顶端外沿上沿周向均匀设有三个导向孔,每个导向孔内各设有一个导向杆,夹持挡片分别设于导向杆顶端;提升机构包括设于夹持器底盘上的固定座,固定座靠近夹持器本体侧为斜面结构,滑轮通过旋转轴设于固定座顶端;滑块设于斜面上,滑块一端通过钢丝绳与滑轮相连,滑块另一端设有挡板。本实用新型通过调整夹持器底盘的高度,从而使钢丝绳拉动滑块带动导杆从而带动夹持挡片自由伸缩,使夹持可往复运动。
基本信息
专利标题 :
一种用于区熔炉的单晶夹持装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020943599.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-29
授权号 :
CN212533192U
授权日 :
2021-02-12
发明人 :
叶钢飞胡建荣倪军夫阮文星姜耀天毛志飞傅林坚曹建伟
申请人 :
浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址 :
浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
代理机构 :
杭州中成专利事务所有限公司
代理人 :
周世骏
优先权 :
CN202020943599.3
主分类号 :
C30B13/00
IPC分类号 :
C30B13/00 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B13/00
区域熔融法单晶生长;区域熔融法精炼
法律状态
2021-02-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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