排废装置及拉晶炉
授权
摘要
本实用新型提供了一种排废装置及拉晶炉。该排废装置包括:第一管道,所述第一管道通过第一阀体与抽真空装置相连;第二管道,所述第二管道通过第二阀体与所述抽真空装置相连,其中,所述第一管道与所述第二管道之一与所述抽真空装置相连通。本实用新型中,通过设置两套相对独立的排废气用管道,在炉内拉制时间超过预定时间后,可以进行状态切换,从而能够解决装置在长时间运行后堵塞和排气不畅问题;在运行中切换使用备用管道,释放石英坩埚潜在的承受时间,延长单埚拉制时间,规避成晶不良颓势,从而达到提产增效、降低成本的目的。
基本信息
专利标题 :
排废装置及拉晶炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020946547.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-29
授权号 :
CN212688229U
授权日 :
2021-03-12
发明人 :
赵亮王东孔凡静
申请人 :
邢台晶龙新能源有限责任公司
申请人地址 :
河北省邢台市邢台经济开发区信都路188号
代理机构 :
上海华诚知识产权代理有限公司
代理人 :
徐颖聪
优先权 :
CN202020946547.1
主分类号 :
C30B15/00
IPC分类号 :
C30B15/00 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
法律状态
2021-03-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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