光源维护装置、偏光照射系统及光配向设备
授权
摘要
本实用新型提供了一种光源维护装置、偏光照射系统及光配向设备,所述光源维护装置用于维护一光源单元,所述光源维护装置包括基座以及驱动单元,所述驱动单元设置于所述基座上,所述驱动单元可控制所述光源单元沿所述基座在工作位与维护位之间平动;其中,所述工作位至所述维护位的直线连线方向与扫描方向大于0度。如此设置,当维护人员在维护光源单元时,光源单元在驱动单元的驱动下从工作位平动到维护位,使得光源单元远离偏振器、偏光板等光学部件,方便维护人员对光源单元进行维护,避免维护人员在维护时将灰尘及其他颗粒等污染物落到光学部件上,导致污染或者损坏精密的光学部件,减小不必要的损失。
基本信息
专利标题 :
光源维护装置、偏光照射系统及光配向设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020964218.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-29
授权号 :
CN212540943U
授权日 :
2021-02-12
发明人 :
陈大伟许凯迪周伟刁雷
申请人 :
上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区张东路1525号
代理机构 :
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 :
王宏婧
优先权 :
CN202020964218.X
主分类号 :
G02F1/13
IPC分类号 :
G02F1/13 G02F1/1337
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02F
用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置,例如转换、选通、调制或解调,上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的;用于上述操作的技术或工艺;变频;非线性光学;光学逻辑元件;光学模拟/数字转换器
G02F1/00
控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置,例如,转换、选通或调制;非线性光学
G02F1/01
对强度、相位、偏振或颜色的控制
G02F1/13
基于液晶的,例如单位液晶显示单元
法律状态
2021-02-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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