一种半导体生产用废气回收装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体生产用废气回收装置，包括喷淋塔，所述喷淋塔的内腔底部设有药液池，所述喷淋塔的内腔顶部设有喷洒管，所述喷洒管的外壁底部连通有雾化喷头，所述喷淋塔的外壁右侧位于第一排气口的下方螺丝连接有引风机，所述箱体的内腔底部螺丝连接有水泵，所述喷淋塔的右侧设有气液分离器，所述气液分离器的右侧设有废气净化箱，所述废气净化箱的内腔左侧均匀分布有紫外线灯管，所述紫外线灯管的右侧设有PP棉过滤层，所述PP棉过滤层的右侧设有活性炭过滤网。本实用新型能够对烟气进行药液净化，对烟气中的水汽和颗粒物进行二级干燥和过滤的处理，同时，能够对烟气进行灭菌处理，减少气体净化排放后的病毒传播。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体生产用废气回收装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020989705.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-03
授权号 ：
CN212999099U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
龙天明
申请人 ：
迈思希姆半导体（江苏）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市花桥镇中科创新广场1号楼41室
代理机构 ：
合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵荣
优先权 ：
CN202020989705.1
主分类号 ：
B01D50/00
IPC分类号 ：
B01D50/00 B01D53/00 B01D53/78
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D50/00
用于从气体或蒸气中分离粒子的组合器械
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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