本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其是一种半导体生产用废气处理装置，针对现有的气体污染处理不完全的问题，现提出如下方案，其包括反应箱，所述反应箱的上侧固定连接有出风管，且出风管的另一端固定连接有初级处理箱，所述初级处理箱的一侧固定连接有通气管，所述通气管的上侧固定连接有多个燃烧管，所述燃烧管的上方固定连接有与反应箱固定连接的隔绝板，所述隔绝板的一侧固定连接有排气管，且排气管的另一端固定连接有分隔箱，所述分隔箱的上侧固定连接有过滤管，本实用新型结构简单，使用方便，排放的气体安全稳定，保护工作人员的身体健康同时达到绿色环保的生产，减少反应能源的供应，节约能源，节约企业的生产成本。