一种半导体生产废气抽风系统

授权

摘要

本实用新型提供了一种半导体生产废气抽风系统，包括连通半导体生产设备和抽风机的废气管，在废气管靠近抽风机的一端设置有废气支管，所述的废气支管一端与废气管连通，在废气支管的另一端设置用于阻挡外部空气进入的挡板，挡板与废气支管铰接，在废气支管的一侧设置用于检测挡板是否打开的光电探头，所述光电探头与报警装置连接。该方案中采用了挡板，当抽风量降低时，挡板由于重力作用落下，光电探头检测到挡板落下后，发出报警，通知工作人员，这样不需要复杂的设备就可以监测风量。

基本信息

专利标题：

一种半导体生产废气抽风系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020190518.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-02-21

授权号：

CN211990160U

授权日：

2020-11-24

发明人：

张运孙者利

申请人：

济南卓微电子有限公司

申请人地址：

山东省济南市章丘明水绣源路中段

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020190518.7

主分类号：

B08B15/00

IPC分类号：

B08B15/00