一种半导体加工用夹持装置
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种半导体加工用夹持装置,包括底板,所述底板顶部的中心处固定连接有支撑块,所述支撑块顶部的四角均固定连接有限位块,所述支撑块的顶部且位于限位块相对的一侧之间放置有半导体加工件,所述底板顶部的后侧开设有凹槽,所述凹槽的内腔设置有固定板,所述固定板顶部的两侧与底板顶部前侧的两侧均固定连接有竖板。本实用新型通过底板、紧固螺栓、滑套、滑杆、限位块、半导体加工件、支撑块、卡板、固定板、夹持板、竖板、橡胶垫、凹槽和螺纹孔的配合使用,解决了现有的夹持装置只能进行单个夹持,在切割完成后通常需要重新固定才能进行二次切割,这样逐次切割操作起来非常麻烦,降低了加工效率的问题。

基本信息
专利标题 :
一种半导体加工用夹持装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020998706.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-03
授权号 :
CN212461647U
授权日 :
2021-02-02
发明人 :
郭顺杰
申请人 :
明曜半导体设备(沈阳)有限公司
申请人地址 :
辽宁省沈阳市大东区建设路127号-6
代理机构 :
深圳峰诚志合知识产权代理有限公司
代理人 :
赵爱婷
优先权 :
CN202020998706.2
主分类号 :
H01L21/687
IPC分类号 :
H01L21/687  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的,例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2022-05-17 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/687
申请日 : 20200603
授权公告日 : 20210202
终止日期 : 20210603
2021-07-30 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/687
登记生效日 : 20210719
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 明曜半导体设备(沈阳)有限公司
变更后权利人 : 自贡国晶科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 110000 辽宁省沈阳市大东区建设路127号-6
变更后权利人 : 643030 四川省自贡市沿滩区高新工业园区板仓路219号1号厂房B栋1-15陈列室
2021-02-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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