一种适用于电子束设备的液氮冷量利用装置，包括用于装载液氮的液氮罐、第一汽化管路、第二汽化管路、输出管路和用于装载冷却水的水箱，所述液氮罐、第一汽化管路和输出管路顺次相连，所述液氮罐、第二汽化管路和输出管路顺次相连，所述第一汽化管路设置有第一电磁阀和第一汽化器，所述第二汽化管路设置有第二电磁阀和液氮换热器，所述液氮换热器设置在水箱中。本实用新型利用液氮汽化过程对冷却水进行冷却，有效降低了电能消耗。