一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构
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摘要

本实用新型属于电子束蒸发台技术领域,尤其是一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构,现提出如下方案,其包括电子束蒸发台,所述电子束蒸发台上设置有用于连接外部动力结构的驱动轴,所述电子束蒸发台的一侧孤固定安装有防护座,且防护座上开设有防护腔,所述驱动轴的一端延伸至防护腔内并固定套设有驱动齿轮;本实用新型的电子束蒸发台的传动结构设计简单巧妙,通过启动旋转电机,可以实现了对第一调速齿轮和第二调速齿轮进行纵向移动,而当第一调速齿轮或者第二调速齿轮和驱动齿轮相啮合的不同传动部件,可以达到带动驱动齿轮转动的速度也不相同,进而可以实现了电子束蒸发台根据使用需求进行调速的目的。

基本信息
专利标题 :
一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021011528.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-04
授权号 :
CN212388102U
授权日 :
2021-01-22
发明人 :
马溢华
申请人 :
无锡芯谱半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市会西路30-34(无锡光电新材料科技园内)
代理机构 :
北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
韩璐
优先权 :
CN202021011528.6
主分类号 :
C23C14/30
IPC分类号 :
C23C14/30  F16H37/04  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
C23C14/30
电子轰击法
法律状态
2021-01-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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