一种CDS供液系统气体加湿装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种CDS供液系统气体加湿装置,该CDS供液系统气体加湿装置由原液桶、负压阀、第一过渡桶、第一阀组、第二过渡桶、第二阀组与配液桶构成,于所述负压阀的上下两端分别开设有进气口与出气口,且该负压阀的一侧具有连通口,所述负压阀通过连通口连接至所述第一过渡桶上,所述第一过渡桶通过连通管连接至原液桶上,所述第一过渡桶的正下端开设有一个出口,且第一过渡桶通过该出口连接配液桶与第二过渡桶。该一种CDS供液系统气体加湿装置,改变了多种溶液配比由手动转变成自动的过程,配比可随时改变,控制精度高,实现了配液过程中人与药液的隔离,确保人身安全,实现了自动化气体加湿。

基本信息
专利标题 :
一种CDS供液系统气体加湿装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021068996.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-11
授权号 :
CN212303612U
授权日 :
2021-01-05
发明人 :
徐竹林
申请人 :
南通华林科纳半导体设备有限公司
申请人地址 :
江苏省南通市如皋市城南街道新桃路90号
代理机构 :
南京天翼专利代理有限责任公司
代理人 :
崔立青
优先权 :
CN202021068996.7
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-31 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/67
变更事项 : 专利权人
变更前 : 南通华林科纳半导体设备有限公司
变更后 : 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 226500 江苏省南通市如皋市城南街道新桃路90号
变更后 : 226500 江苏省南通市如皋市城南街道新桃路90号
2021-01-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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