一种便于放置探针卡的三维探针台
授权
摘要
本实用新型公开了一种便于放置探针卡的三维探针台，包括三维探针台主体和探针卡安装台，所述三维探针台主体上设有凹槽，所述凹槽内还设有工件放置槽；所述探针卡安装台包括基台，所述基台上设有圆形凹槽，圆形凹槽内设有通孔，所述通孔内安装有轴承，轴承上安装有蜗轮，所述蜗轮上安装有转盘，所述转盘上设有方形探针卡放置台，转盘上设有定位杆穿过方形探针卡放置台；所述三维探针台主体内还安装有气缸，所述气缸的活塞杆与基台连接。
基本信息
专利标题 ：
一种便于放置探针卡的三维探针台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021180254.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-23
授权号 ：
CN212412010U
授权日 ：
2021-01-26
发明人 ：
刘卫滨
申请人 ：
北京东方晨景科技有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村东路66号世纪科贸大厦B座2203室
代理机构 ：
南京常青藤知识产权代理有限公司
代理人 ：
毛洪梅
优先权 ：
CN202021180254.3
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-01-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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