一种旋转曝光治具
授权
摘要
本实用新型公开了一种旋转曝光治具,包括载盘、垂直支座和底座,垂直支座下端连接底座,载盘下端设有连接块,垂直支座上端与连接块用一销钉连接,载盘通过连接块绕销钉轴心旋转。本实用新型的有益效果是:旋转曝光治具的使用,通过旋转、倾斜的方式降低了产品角度,解决了光束折射现象,极大的减少残留、过显、锯齿等不良。
基本信息
专利标题 :
一种旋转曝光治具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021213473.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-28
授权号 :
CN212586693U
授权日 :
2021-02-23
发明人 :
邓松青朱志华张扬兰英建
申请人 :
东莞市瑞立达玻璃盖板科技股份有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市寮步镇牛杨村金钗路17号
代理机构 :
东莞市冠诚知识产权代理有限公司
代理人 :
张作林
优先权 :
CN202021213473.7
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-02-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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