一种曝光用治具
授权
摘要
本实用新型公开了一种曝光用治具，包括支撑架，所述支撑架上设有底板，所述底板上转动安装有衬套，所述衬套上固定安装有粗调旋转板，所述粗调旋转板与所述底板之间设有转动安装于所述衬套上的精调旋转板，所述精调旋转板与所述粗调旋转板之间设有粗调控制机构，所述粗调控制机构上顶靠有精调调节机构；所述粗调旋转板上固定安装有安装板，所述安装板上设有真空吸取机构。不仅保证了非垂直面的正常曝光，而且能偏转任意角度，为满足侧面曝光的需求提供了保障，结构简单、紧凑，且设计巧妙，使用可靠性高，使用范围广，具有很强的实用性。
基本信息
专利标题 ：
一种曝光用治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921612422.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-25
授权号 ：
CN210323769U
授权日 ：
2020-04-14
发明人 ：
马迪吴景舟陈亮陈国军王群朱鹏飞孙行冯梦飞潘钰林全海
申请人 ：
钧迪智能装备科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路868号锐晶大厦B座1号101室、B座2层钧迪智能装备科技（苏州）有限公司
代理机构 ：
北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李宏伟
优先权 ：
CN201921612422.9
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-04-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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