一种降低PBN板材翘曲的模具
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摘要
本实用新型涉及一种降低PBN板材翘曲的模具，属于化学气相沉积技术领域，模具包括主体，主体为石墨制作的圆柱体，主体侧面上环绕设置一圈连续的凹槽。本实用新型通过在模具上设置凹槽，有意识地增加生产PBN板材时的应力集中因素，使板材内部的应力集中得以缓和，从而减小板材翘曲。
基本信息
专利标题 ：
一种降低PBN板材翘曲的模具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021214395.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-28
授权号 ：
CN212924414U
授权日 ：
2021-04-09
发明人 ：
刘汝强王殿春胡晓静吴思华周清波
申请人 ：
山东国晶新材料有限公司
申请人地址 ：
山东省德州市禹城市南环东路88号
代理机构 ：
济南金迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵龙群
优先权 ：
CN202021214395.2
主分类号 ：
C01B21/064
IPC分类号 ：
C01B21/064
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B21/00
氮；其化合物
C01B21/06
氮与金属、硅或硼的二元化合物
C01B21/064
与硼
法律状态
2021-04-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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