真空吸附式叉形末端夹持器
授权
摘要
本实用新型公开一种真空吸附式叉形末端夹持器,包括：本体；法兰,法兰位于本体一端；和吸盘,吸盘位于本体另一端,并通过本体与法兰呈一体结构,吸盘的端缘部开设有叉形缺口。目前行业中常使用中心接触的方式来拾取晶圆片，但对于大尺寸，超薄晶圆片来说，仅仅依靠中间接触，会造成晶圆的边缘区域受自重影响而下垂，造成整片晶圆片的变形，同时也会降低晶圆片在搬运过程中的稳定性。通过实施本实用新型的技术方案，吸盘为叉形结构，与晶圆片接触时，能有效防止晶圆片边缘下垂；通过叉形吸盘上三个沟槽的设置，保证夹持器在拾取大尺寸、超薄晶圆片时可以向整个晶圆面提供稳定而均匀的吸附力和支撑，从而保证晶圆片在搬运过程中的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
真空吸附式叉形末端夹持器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021228005.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-29
授权号 ：
CN212331075U
授权日 ：
2021-01-12
发明人 ：
何瑞郭梅刘丹韩浚源
申请人 ：
昀智科技（北京）有限责任公司
申请人地址 ：
北京市门头沟区莲石湖西路98号院5号楼703室-1（智创空间）
代理机构 ：
北京中索知识产权代理有限公司
代理人 ：
胡大成
优先权 ：
CN202021228005.7
主分类号 ：
B25J15/06
IPC分类号 ：
B25J15/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J15/00
夹头
B25J15/06
带真空或磁力夹持装置
法律状态
2021-01-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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