一种真空传输装置
授权
摘要
本实用新型公开一种真空传输装置，用于在各真空子系统之间进行样操作，包括与各个真空子系统连通的直线传输管，配置于所述直线传输管的腔室内的传输小车，安装于所述直线传输管的传输接口上的磁力杆，放置样品托的传输基座以及安装于所述真空子系统腔室上的机械手。
基本信息
专利标题 ：
一种真空传输装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021234111.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-30
授权号 ：
CN212798648U
授权日 ：
2021-03-26
发明人 ：
艾金虎
申请人 ：
埃频（上海）仪器科技有限公司
申请人地址 ：
上海市奉贤区钜庭路998号1号楼
代理机构 ：
上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
李镝的
优先权 ：
CN202021234111.6
主分类号 ：
B65G51/26
IPC分类号 ：
B65G51/26 B65G51/18
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G51/00
用流体流动或压力通过管道或管子输送物件；在扁平表面，如槽底，用放置在该表面的喷射器输送物体
B65G51/04
在承载器中，输送其断面近似管道或管子断面的物件；管路邮件系统
B65G51/26
站
法律状态
2021-03-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
