清洗机

授权

摘要

一种清洗机，包括机体、盖体和两个喷淋组件，机体设有容腔，机体的顶部开口；盖体盖设于机体的顶部并封闭容腔，盖体呈圆锥形或棱锥形，盖体的中部朝背向机体的方向突出；两个喷淋组件容置在容腔，且两个喷淋组件相对设置并间隔清洗空间，清洗空间用于放置待清洗的晶圆。通过将盖体设计为圆锥形或棱锥形，且盖体的中部朝背向机体的方向突出，使得飞溅到盖体上的药液会沿盖体内壁流至机体的内壁，而不会直接滴落到晶圆上，从而避免了对晶圆造成二次清洗，有效保证了晶圆的清洗品质，提高了晶圆的生产良率。

基本信息

专利标题：

清洗机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021245366.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-30

授权号：

CN212664342U

授权日：

2021-03-09

发明人：

兰升友李瑶熊超超张嘉修

申请人：

重庆康佳光电技术研究院有限公司

申请人地址：

重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号（1号厂房）

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司

代理人：

熊永强

优先权：

CN202021245366.2

主分类号：

B08B3/02

IPC分类号：

B08B3/02 H01L21/67