一种多种气体混配供应装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种多种气体混配供应装置，涉及气体混配领域，包括配气阀箱和安装板,所述配气阀箱内设有安装板，所述安装板的顶面设有低压手动隔膜阀、低压气动隔膜阀、单向阀A、单向阀B、过滤器、氨气纯化器、氮气纯化器、氢气纯化器、氯化氢纯化器、混合气纯化器、氨气质量流量控制器、氮气质量流量控制器、氢气质量流量控制器、氯化氢质量流量控制器、混合气质量流量控制器A和混合气质量流量控制器B,所述氨气纯化器的底端通过管道与氨气质量流量控制器固定连接，本实用新型采用气体质量流量计进行体积配比，严格控制配比浓度，在入口端配置气体纯化器，避免受污染的工艺气体进入工艺设备腔体，有效提高了系统供气的稳定安全。
基本信息
专利标题 ：
一种多种气体混配供应装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021284827.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-04
授权号 ：
CN212701398U
授权日 ：
2021-03-16
发明人 ：
郭明华周翔
申请人 ：
深圳融科科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区宝龙街道宝荷大道76号智慧家园B座1801
代理机构 ：
北京久维律师事务所
代理人 ：
邢江峰
优先权 ：
CN202021284827.7
主分类号 ：
B01F3/02
IPC分类号 ：
B01F3/02 B01F15/04 B01F3/20 B01F3/22 B01F15/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01F
混合，例如，溶解、乳化、分散
B01F3/00
混合，例如，按被混合的相来分散，乳化
B01F3/02
气体与气体或蒸气
法律状态
2021-03-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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