本实用新型公开了一种光电半导体高洁净Tray盘微尘粒子清洗设备，本实用新型采用了无人化作业模式利用入料机1自动入料进行读码判读取相关资讯，当入料后全程进入高洁净环境密闭腔体流线，经过一次性洁净纯水净化，经可变式喷水系统依照产品洁净程度正、反面双面清洗方式并调整出不同方向及不同出水角度及不同水压大小，后经变频式温控风流机智能烘干，可以依照产品大小进行温度及风流控制，匹配出最好效果烘干出不变形的Tray盘，确保在洁净流程中万无一失的洁净保证，为提供高升产能，采用双通道双工位清洗方式，保证产能输出。