一种洁净室微尘粒子分析与AMC气体分析系统

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摘要

本实用新型公开了一种洁净室微尘粒子分析与AMC气体分析系统，包括箱体、储气罐和微尘粒子检测仪。开启相应的第二阀门，同时关闭其他通道的的第二阀门，进而通过开关启动第二真空泵、微尘粒子检测仪和AMC空气检测仪，第二真空泵将相应的进气斗一端的空气输送至储气罐内，进气桶中的空气通过第一连接管输送至微尘粒子检测仪的检测端对空气中的微尘颗粒进行检测，进气桶中的空气输送至AMC空气检测仪的检测端对空气分子污染物进行检测，第一真空泵将储气罐内的空气通过第二排气管输送至外界，待储气罐内的空气排空后，再关闭第一真空泵，开启相应的第二阀门，再关闭其他通道的第二阀门，进而便于对洁净室内的多个位置的空气进行检测分析。

基本信息

专利标题：

一种洁净室微尘粒子分析与AMC气体分析系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022229155.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-09

授权号：

CN213181162U

授权日：

2021-05-11

发明人：

田晓芳

申请人：

南京君之晔科技有限公司

申请人地址：

江苏省南京市江北新区泰山街道浦泗路19号创客空间工位号45

代理机构：

上海智力专利商标事务所(普通合伙)

代理人：

周涛

优先权：

CN202022229155.6

主分类号：

G01N15/06

IPC分类号：

G01N15/06