用于MEMS麦克风的振膜及MEMS麦克风
授权
摘要
本实用新型提供一种用于MEMS麦克风的振膜，所述振膜包括方型主体部和由主体部四角向外延伸的第一锚定部，所述第一锚定部包括由主体部向外延伸的连接部和从连接部向外延伸的支撑部，所述主体部向外延伸形成外膜，所述外膜与所述连接部的连接处形成圆角。本实用新型主要通过在振膜的主体部与第一锚定部的连接处设置圆角，以增大振膜的面积，从而达到增大MEMS麦克风灵敏度的目的。
基本信息
专利标题 ：
用于MEMS麦克风的振膜及MEMS麦克风
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021308185.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-06
授权号 ：
CN216437481U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
赵转转但强王凯杰李杨
申请人 ：
瑞声科技（南京）有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市栖霞区仙林大学城元化路南大科学园新兴产业孵化基地研发楼8层
代理机构 ：
深圳国新南方知识产权代理有限公司
代理人 ：
张曾明
优先权 ：
CN202021308185.X
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R7/04
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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