一种振膜以及微机电系统麦克风
授权
摘要
本实用新型公开了一种振膜以及微机电系统麦克风，该振膜包括：振膜包括第一表面以及与第一表面相对设置的第二表面；振膜上设置有泄气结构，泄气结构包括多个相同的泄气孔，泄气孔的纵截面图形在第一表面的边长与泄气孔的纵截面图形在第二表面的边长不相等。本实用新型实施例提供的技术方案，泄气孔的纵截面图形在第一表面的边长与泄气孔的纵截面图形在第二表面的边长中短边增加泄气孔对空气的阻尼，以改善MEMS麦克风芯片的频率响应。
基本信息
专利标题 ：
一种振膜以及微机电系统麦克风
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020843869.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-19
授权号 ：
CN212259332U
授权日 ：
2020-12-29
发明人 ：
孙恺荣根兰胡维
申请人 ：
苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号纳米城NW-09楼501室
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
孟金喆
优先权 ：
CN202020843869.3
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R7/02
法律状态
2020-12-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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