微机电麦克风
公开
摘要
本发明提供一种微机电麦克风包括：基底，其包括设置在所述基底内的背腔以及设置在所述基底上并所述背腔连通的入声口；传感装置，设置在所述背腔的内侧壁；第一悬臂，设置在所述背腔内，其包括与所述传感装置耦接的端部；第一振膜，设置在所述入声口处，其中所述第一振膜的一侧与所述第一悬臂连接，另一侧用于接收外力；第二振膜，设置在所述背腔内；以及多个第二悬臂，其中每个所述悬臂包括机械支撑所述第一悬臂的第一端以及与所述第二振膜连接的第二端。通过将第一悬臂梁悬挂在第二悬臂梁上，第一悬臂梁的端部总是与传感装置的预设位置耦接。本发明的微机电麦克风可以防止振膜的位移的直流偏移。
基本信息
专利标题 ：
微机电麦克风
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114286270A
申请号 ：
CN202111634533.1
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
尤安·詹姆斯·博伊德阿努普·帕特尔科林·魏宏中
申请人 ：
瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座
代理机构 ：
深圳紫辰知识产权代理有限公司
代理人 ：
万鹏
优先权 ：
CN202111634533.1
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04
法律状态
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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